冷冻机Chiller（恒温冷却体系）在真空镀膜（如PVD、CVD、磁控溅射、蒸腾镀等）工艺中扮演着不同的人物。它不仅是保证设备安稳运转，更是影响薄膜质量、堆积速率、设备寿数和工艺重复性的辅佐体系。
冷冻机经过循环冷却水/油，保持靶材温度在安全规模（一般 80℃），避免：
3. 介质兼容性：- 水冷型：去离子水；油冷型：高温硅油（用于100℃场景）
5. 多回路独立操控：镀膜机需一起冷却靶材、基片台、腔体，冷冻机供给2–4路独立温控输出
高功率东西镀（10kW）：国产大功率机型 ✅，国产已具有30kW+制冷才能，性价比合适
冷冻机Chiller虽不直接参与成膜，却决议着工艺能否安稳、有用、重复地运转。在挑选时，应根据镀膜类型、功率密度、基材特性及质量开展要求，平衡控温精度、可靠性、本钱与服务。关于大多数工业镀膜场景，国产冷冻机Chiller已完全担任，并在性价比和服务呼应上具有明显优势。
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希望总算完成!!!2027版名词解释堂堂上台!!!线装!!!平铺!!!全满意!!!
